中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000
簡介
KYKY-EM8100 場發(fā)射掃描電鏡采用電子束加速鏡筒，確保低壓下較好的成像功能，超高分辨率，適合研究所，高校等更多高分辨率觀測需求。
使用肖特基場發(fā)射電子槍，亮度高，單色性好、電子束斑小，壽命長，超大樣品倉，滿足不同客戶的觀測需求；
低像差物鏡技術(shù)提升成像品質(zhì)，特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，樣品適用性更廣；錐形物鏡設(shè)計(jì)，提升各類信號探測效率；
借助于光學(xué)顯微鏡可以看到0.2微米的這個(gè)尺度，可以看到細(xì)胞、細(xì)菌的結(jié)構(gòu)等；而借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級尺度，可以觀測到病DU、半導(dǎo)體器件的納米結(jié)構(gòu)等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 0.9nm@30Kv (SE)，2.5nm@30kV (BSE)
2. 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可直接觀測，無需噴金
3. 超大樣品艙，樣品直徑340mm，可定制樣品倉尺寸
4. 束流穩(wěn)定度高，色散小，適宜于長時(shí)間的各種精確分析
中科科儀掃描電鏡KYKY-EM8100 / EM8000 技術(shù)指標(biāo)
分辨率 | 0.9nm@30KV（SE）; 2.5nm@30KV （BSE） |
放大倍數(shù) | 2-3,000,000（圖像放大） |
電子槍 | 肖特基熱場發(fā)射電子槍 |
加速電壓 | 0.2～30kV |
自動(dòng)調(diào)整功能 | 聚焦，亮度/對比度、消像散、電子束對中 |
探測器 | 高真空二次電子探測器（探頭防碰撞）、CCD |
樣品臺 | 五軸全自動(dòng)大樣品臺 行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+75°,R=360° 樣品直徑: Ф340mm；樣品高度：50mm；具有碰撞報(bào)警功能。 |
選配探測器 | BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等 |
廣泛應(yīng)用到材料科學(xué)、生命科學(xué)、航天航空、環(huán)境保護(hù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測以及微區(qū)成分分析問題，為我國前沿科學(xué)研究、重大工程和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了重要支撐。
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