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自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)AOI 若元件庫(kù)建立完整，使用CAD DATA 導(dǎo)入即可完成自動(dòng)編程。3、還包含了離線編程軟件包（包含離線調(diào)試功能）
臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀） 根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
聚焦離子束FIB 材料微納結(jié)構(gòu)的樣品制備，包括：SEM在線觀察下制備TEM樣品、材料微觀截面截取與觀察、樣品微觀刻蝕與沉積等。
半導(dǎo)體檢測(cè)儀器設(shè)備全套-3D光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)VMR可模擬現(xiàn)實(shí)環(huán)境，規(guī)劃智能教導(dǎo)掃描路徑，避免碰撞擊干涉。也可進(jìn)行離線編成設(shè)計(jì)路徑，避免占用設(shè)備的掃描排程。
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