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潔凈室多級(jí)碰撞采樣器該多級(jí)碰撞采樣器將懸浮顆粒按照粒徑大小分級(jí)采集到硅片，鋁膜及其它平面介質(zhì)上進(jìn)行掃描電鏡或其它技術(shù)分析潔凈室污染。
多級(jí)生物氣溶膠采樣器6級(jí)生物氣溶膠采樣器包括：6個(gè)帶孔的鋁制層、硅樹酯O型墊圈、真空泵、攜帶工具箱，該采樣器每一級(jí)的工作流量都是28.3 L/min。
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