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電子背散射衍射，即EBSD技術(shù)可以用來確定晶體取向、鑒別相、表征晶界和應變等，是XRD和TEM技術(shù)在晶體結(jié)構(gòu)和取向分析方面的有效補充。經(jīng)過技術(shù)的累積和發(fā)展，如今，先進的EBSD探測器、數(shù)據(jù)采集和分析方法和軟件使得這一領域的分析在材料學研究中應用越來越廣泛。

EBSD衍射花樣采集自樣品表層數(shù)十納米的范圍，要求在此區(qū)域沒有殘余應變（即損傷層）、氧化和外來污染。因此，EBSD分析時所獲菊池花樣質(zhì)量的高低，很大程度上取決于在樣品制備過程中，晶體變形損傷的去除情況。如此高的制樣要求，使得EBSD分析樣品的制備質(zhì)量、效率及成本始終是困擾相關科研人員的一個問題。目前主流的EBSD制樣技術(shù)包括機械拋光、電解拋光和離子束拋光等。

此外，在二維EBSD分析技術(shù)應用日益普遍的背景下，可以更為完整地描述晶粒、表征界面和深入研究塑性應變的三維EBSD分析技術(shù)也開始嶄露頭角，而其中帶來的樣品制備挑戰(zhàn)則更加凸顯。

本期網(wǎng)絡講堂，我們將邀請布魯克納米分析應用科學專家和我們QATM的應用專家一起，給大家?guī)硗暾麑I(yè)的EBSD分析和制樣專題，即包含先進的EBSD及相關表征技術(shù)和應用技巧，也包括如何采用機械拋光和電解拋光方法高效制備EBSD樣品的技術(shù)細節(jié)；同時，也將涉及目前先進的大體積材料三維EBSD分析樣品的制備方案。我們希望這些干貨滿滿的技術(shù)分享可以解答您關于EBSD分析和制樣的一些困惑，助力您的材料研究和工作更加順利！