在排除以上兩個(gè)因素后，引起真空泵抽不到極限真空度的主要原因有以下幾個(gè)方面。泵油污染，需要換油;泵內(nèi)油過(guò)濾器堵塞，引起壓縮注油系統(tǒng)油路不暢，供油不足，導(dǎo)致泵體密封不嚴(yán)，這時(shí)需要清洗內(nèi)部油過(guò)濾器;配油器閥門(mén)變形，磨損或損壞，也可導(dǎo)致供油不足，這時(shí)應(yīng)檢查更換配油器閥門(mén);長(zhǎng)時(shí)間使用引起真空泵的旋片磨損或轉(zhuǎn)子內(nèi)的彈簧張力不足，導(dǎo)致吸氣室和排氣室隔離不嚴(yán)，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時(shí)應(yīng)當(dāng)更換旋片和彈簧，并清洗轉(zhuǎn)子和泵腔;檢查排氣閥門(mén)，觀看其動(dòng)作是否失靈，導(dǎo)致排氣不暢，必要時(shí)更換排氣閥門(mén)。

易維實(shí)驗(yàn)儀器廠家提醒您，真空泵的真空系統(tǒng)是其工作的控制中心，我們要有一定的保護(hù)措施。當(dāng)系統(tǒng)中有大量冷凝蒸氣時(shí)，應(yīng)打開(kāi)氣鎮(zhèn)，與真空泵相連通，氣鎮(zhèn)閥一定要*打開(kāi)。這時(shí)可在氣鎮(zhèn)上安裝氣鎮(zhèn)控制電磁閥，以提高氣鎮(zhèn)控制的自動(dòng)化和遠(yuǎn)程控制能力。使用中，經(jīng)常發(fā)現(xiàn)真空泵與真空系統(tǒng)連接的透明塑料管內(nèi)壁發(fā)黃或焦黃，其原因是真空泵返油或油蒸氣冷凝所導(dǎo)致，這只是表面現(xiàn)象，更深一層大家看不到的是所返油蒸氣進(jìn)入分析儀器，如質(zhì)譜儀的分析場(chǎng)和離子源，這將導(dǎo)致分析儀器的性能下降，甚至不能工作，需要清洗維修。為防患于未然，應(yīng)當(dāng)在真空泵入口與真空系統(tǒng)之間安裝電磁閥，在真空泵關(guān)閉時(shí)，電磁閥自動(dòng)打開(kāi)，往真空泵送入大氣，減小負(fù)壓，防止返油發(fā)生。