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小王子介紹壓力傳感器原理
表壓型壓力傳感器通過檢測膜片變形來測量壓力。檢測方式有半導(dǎo)體計(jì)式、應(yīng)變計(jì)式、金屬薄膜式等多種。
膜片表面放置四個計(jì)量電阻，當(dāng)膜片因壓力而變形時，電阻值會發(fā)生變化。四個測量電阻組裝成橋式電路，電阻的變化作為電壓輸出。
1.半導(dǎo)體表壓傳感器
半導(dǎo)體表壓傳感器使用半導(dǎo)體本身作為隔膜，并利用壓電效應(yīng)測量壓力，壓電效應(yīng)是半導(dǎo)體受到壓力時電阻發(fā)生變化的特性?？箟鹤兓绕渌椒ù蟮枚?，因此可以制造堅(jiān)固的隔膜，使設(shè)備高度耐用。
2.應(yīng)變式壓力傳感器
應(yīng)變計(jì)壓力傳感器通過將應(yīng)變計(jì)連接到隔膜背面來測量應(yīng)變計(jì)電阻的變化。應(yīng)變片是利用金屬變形時電阻發(fā)生變化的特性來測量應(yīng)變，并通過應(yīng)變與壓力匹配來輸出壓力的裝置。
3.金屬薄膜壓力傳感器
金屬薄膜壓力傳感器通過在膜片上形成金屬薄膜并測量因壓力而變形的金屬薄膜的電阻變化來測量壓力。其特點(diǎn)是比應(yīng)變片式靈敏度更高，甚至可以在高溫下使用。
