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了解場發(fā)射掃描電子顯微鏡的原理、優(yōu)點及檢測范圍
閱讀：7158 發(fā)布時間：2021-12-4
什么是場發(fā)射掃描電子顯微鏡？其實它是電子顯微鏡的一種，掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。廣泛用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析?？梢杂^察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。
一、工作原理：
場發(fā)射掃描電子顯微鏡的原理是利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察，同時利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來對微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析，是我們材料研究分析中一雙亮麗的“眼睛”。
掃描電鏡按照電子槍分類可以分為鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、場發(fā)射(FieldEmission)三種，場發(fā)射掃描電鏡相比于鎢燈絲、六硼化鑭，具有電子束斑小、高分辨率、穩(wěn)定性好等特點。
二、優(yōu)點：
1、有較高的放大倍數(shù)，20-30萬倍之間連續(xù)可調(diào)；
2、有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；
3、試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀（EDS）裝置，這樣可以同時進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析。
三、檢測范圍：
1、金屬、陶瓷、高分子、礦物、半導(dǎo)體、紙張、化工產(chǎn)品的顯微形貌觀察及材料的晶體結(jié)構(gòu)、相組織分析;
2、各種材料微區(qū)化學(xué)成分的定性定量檢測;
3、粉末、微粒、納米樣品形態(tài)觀察和粒度測定;
4、機械零件與工業(yè)產(chǎn)品的失效分析;
5、鍍層厚度、成分與質(zhì)量測定;
6、生物、醫(yī)學(xué)和農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。