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深圳市中圖儀器股份有限公司

有關(guān)三維表面輪廓儀技術(shù)特點的,不妨看看下文!

時間:2024-5-14 閱讀:713
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  三維表面輪廓儀是一種先進(jìn)的測量設(shè)備,主要用于測量和分析物體表面的三維輪廓和形貌。其主要基于光學(xué)原理進(jìn)行測量。它利用激光或其他光源投射到被測物體表面,通過接收反射光或散射光,結(jié)合計算機(jī)圖像處理技術(shù),獲取物體表面的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)可以進(jìn)一步用于分析物體表面的形狀、粗糙度、紋理等特征。
  三維表面輪廓儀的技術(shù)特點:
  1、高精度測量:具備納米級的檢測精度,能夠精確獲取工件表面的三維形貌和數(shù)據(jù)。
  2、大垂直掃描范圍:某些設(shè)備提供150um的壓電陶瓷驅(qū)動垂直掃描,以及最大可達(dá)20mm的擴(kuò)展掃描能力。
  3、出色的重復(fù)性:重復(fù)性小于0.1nm RMS,確保測量結(jié)果的可靠性。
  4、橫向分辨能力:空間采樣率可達(dá)到0.30um(使用100X物鏡時)甚至更高,這允許設(shè)備捕捉到微觀細(xì)節(jié)。
  5、快速掃描速度:最大掃描速度可達(dá)96um/s,提高了檢測效率。
  6、臺階測量線性度:重復(fù)性≤0.1%,保證了測量的準(zhǔn)確性。
  7、多功能性:除了用于半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的質(zhì)量控制,還可以應(yīng)用于文物保護(hù)、地形測繪等多個行業(yè)。
  總的來說,三維表面輪廓儀是一種高新技術(shù)產(chǎn)品,其技術(shù)特點使其在精密工程和科學(xué)研究中扮演著重要角色。通過這些特點,三維表面輪廓儀能夠為用戶提供精確的表面形貌測量,從而保證產(chǎn)品質(zhì)量和科研數(shù)據(jù)的有效性。

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