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天津吉思特儀器儀表有限公司
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GT160D-氣體質(zhì)量流量控制器
  • GT160D-氣體質(zhì)量流量控制器

貨物所在地:天津天津市

地: 天津市津南區(qū)

更新時間:2025-03-24 21:00:08

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GT160D氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

        GT160D氣體質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典型應(yīng)用場合有微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀以及其他分析儀器。

技術(shù)特點(diǎn)

  • 微處理器控制

GT160D氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)部采用可編程未處理器控制,使用PID控制,可實(shí)現(xiàn)不同工況條件下進(jìn)行高速精確的流量控制。

  • RS-484總線接口

質(zhì)量流量控制器內(nèi)置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485串口控制或按鍵控制兩種模式??赏ㄟ^RS-485總線組網(wǎng),實(shí)現(xiàn)多臺MFC同時控制。

  • 標(biāo)定方法

質(zhì)量流量控制器執(zhí)行JJG 1132-2017國家標(biāo)準(zhǔn),所有產(chǎn)品均采用特定高純氣體標(biāo)定,確保產(chǎn)品的精度。

可通過標(biāo)定軟件對氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行標(biāo)定,只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進(jìn)行標(biāo)定。

  • 緊湊的外形尺寸

質(zhì)量流量控制器尺寸非常小巧緊湊,用戶使用時,不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量,同時能夠集成更多的功能模塊。

  • 多氣體多量程選擇

質(zhì)量流量控制器內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式(H2、N2、Air、Ar、He等),用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進(jìn)行操作選擇。同時,本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品,用戶可根據(jù)需求進(jìn)行選。

技術(shù)指標(biāo)

 

項(xiàng)目

參數(shù)信息

大量程

50sccm-500sccm(可定制)

精度

±1%F.S.

氣體類型

H2/He/N2/Air/Ar(可定制))

響應(yīng)時間

1s

壓差范圍

<1MPa

工作溫度

0~50℃

工作濕度

0~95%R.H.(非冷凝)

工作電壓

24V±10%/12V±10%

信號接口

RS-485(Modbus)

氣路材質(zhì)

不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層

氣路接口

1/16

尺寸

55×46×22mm

 

 

 

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