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真空容器中污染物的主要來源有哪些

閱讀:904        發(fā)布時間:2020-6-5

很多真空應(yīng)用中,都需要避免污染,像涉及食品藥品制造,以及電子器件、半導(dǎo)體、光學(xué)器件制造等。那今天螺桿真空泵廠家就與大家一起來認(rèn)識下真空容器中污染物的主要來源有哪些。

 

真空容器中的污染物主要來自于加工制造過程、安裝調(diào)試過程以及真空原件和環(huán)境的影響,更具體的大致包括以下幾個方面:

 

首先是真空容器以及它的內(nèi)部安裝的各種機(jī)構(gòu),都是通過機(jī)械加工得到。因此這個過程中,它們的表面不可避免的會受到潤滑油、冷卻液、焊接的污染,這些是真空容器中污染物的重要來源之一。

 

其次是和真空系統(tǒng)選擇的真空設(shè)備有關(guān)。真空容器抽真空中,對于真空泵的選擇種類很多,像油擴(kuò)散泵、油封式機(jī)械泵、往復(fù)泵、各種干式真空泵等。其中油擴(kuò)散泵、油封泵以及常規(guī)往復(fù)泵,它們的工作介質(zhì)都會涉及油,因此真空室產(chǎn)生會難以避免的受到油蒸氣的污染。而就算是干式真空泵,如螺桿真空泵、渦旋真空泵、爪泵、渦輪分子泵等,雖然腔體沒有油介質(zhì),但大部分齒輪箱、軸承等地方還是存在潤滑油脂。即使是使用低蒸氣壓的油脂,極少量的油蒸氣還是有可能返流到真空容器中,因而很難做到杜絕。

 

第三是各類真空閥門。它們的運(yùn)動機(jī)構(gòu)有時采用油或脂潤滑,這是常被人們忽視的污染源。因此有些對污染敏感的真空應(yīng)用中,真空閥門會要求采用固體潤滑。

 

第四是真空容器中有時會存在有機(jī)涂層,常有各種測試導(dǎo)線,以及運(yùn)動機(jī)構(gòu)的潤滑、軸承的潤滑,溶氧也是污染源之一。

 

第五是安裝過程中,清洗液的殘留物,操作人員的衣著、手跡、毛發(fā)皮屑等會造成污染,以及使用工具時帶來的污染。

 

第六是材料軋制、存儲、機(jī)加工后產(chǎn)生的氧化層、氮化層未清理,這也是污染源。

 

第七是真空容器中各種材料本身的解吸與出氣。

后就是環(huán)境污染物,就是試驗樣品存放場地有機(jī)物或無機(jī)物的污染。

 

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