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維修愛德華EH4200羅茨泵氣量不足
Edwards EH4200機(jī)械增壓泵采用*的液力驅(qū)動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)高效的動(dòng)力傳送，在經(jīng)濟(jì)性、性能和緊湊性方面擁有優(yōu)勢(shì)。
EDWARDS愛德華羅茨真空機(jī)械增壓泵EH4200系列應(yīng)用：
這些增壓泵適用于高壓力差的場合，這種高壓力差使增壓泵可以與前級(jí)泵同時(shí)啟動(dòng)，從而減少總體抽氣時(shí)間。
半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光
EDWARDS EH4200愛德華羅茨真空機(jī)械增壓泵EH系列功能和優(yōu)勢(shì):
1、適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr 的壓力范圍下，需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
2、 可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
3、 EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：安靜的無振動(dòng)運(yùn)行；牢靠且防腐蝕。
4、 *的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
5、防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
6、 經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到低。
7、軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要gao標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
8、動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是*技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
愛德華EH4200羅茨泵的抽氣量不夠，這種故障的出現(xiàn)，使泵未充分發(fā)揮它的效能，滿足不了工藝需求。
產(chǎn)生這種故障的原因可能是：泵的轉(zhuǎn)速不夠；密封不嚴(yán)，在進(jìn)氣管路的連接處或軸封處漏氣；泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子外圈與泵殼、轉(zhuǎn)子端面與端蓋周的間隙過大，氣體返流量增大；環(huán)境溫度或冷卻水的溫度過高。處理方法有下列幾種：
1、若泵的轉(zhuǎn)速不夠，而抽氣量是與泵的轉(zhuǎn)速成正比，則泵的抽氣量就會(huì)下降。這有兩種情況：一種情況是泵的轉(zhuǎn)速未配備好，也就是皮帶輪的直徑不合適（即速比不合適），可更換皮帶輪，改變皮帶輪的直徑，另一種情況可能是皮帶安裝不當(dāng)，未張緊，皮帶打滑而降低了轉(zhuǎn)速，這可調(diào)節(jié)電機(jī)位置，使皮帶張到一定緊度。
2、查明何處漏氣，針對(duì)具體情況進(jìn)行處理。若連接法蘭處漏氣，則可能是由于連接螺釘松動(dòng)，墊圈壓破變質(zhì)或者是法蘭面加工不平。若在軸封處漏氣，則有可能是密封皮碗未裝正或劈裂，此時(shí)則更換皮碗并裝正。若是填料密封的，可將扎進(jìn)的填料掏出。更換新的。但填料的接口必須是斜面而互相搭接服帖。第1圈的接口必須與第二圈的接口錯(cuò)開，不能在同一位置上。
3、若轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子型面間的間隙不均勻，在轉(zhuǎn)一圈中一處間隙大，另一處間隙小，則是由于在裝配時(shí)，同步齒輪的嚙合狀況未調(diào)整好。該對(duì)同步齒輪之所以做成另一個(gè)齒輪的輪轂固定，另一個(gè)齒輪的輪轂做成可以調(diào)節(jié)的，就是因?yàn)閮赊D(zhuǎn)子的外形是共軛曲面，要互相正常嚙合，否則就會(huì)轉(zhuǎn)不動(dòng)，即使能轉(zhuǎn)動(dòng)。也可能出現(xiàn)在轉(zhuǎn)動(dòng)中，兩轉(zhuǎn)子間的間隙時(shí)大時(shí)小。在這種狀態(tài)下，可將可調(diào)齒輪連接輪轂的螺釘擰松并拔出定位銷釘，進(jìn)行調(diào)節(jié)，使轉(zhuǎn)子的嚙合和齒輪的嚙合同時(shí)達(dá)到正常嚙合狀態(tài)，這時(shí)各處間隙就均勻了，重新擰緊螺釘，重鉸銷釘孔并裝上銷釘定位。若轉(zhuǎn)子外徑與泵殼的間隙某處過大（不會(huì)各處都大），則可擰松端蓋與泵殼的連接螺釘，撥出定位銷，進(jìn)行調(diào)節(jié)，待各處間隙都均勻了，再擰緊螺釘，重鉸端蓋與泵殼的定位銷孔并裝上錐銷，若轉(zhuǎn)子端面與端蓋之間的間隙過大，則可能是由于泵殼與端蓋之間的密封墊子太厚，可去下該墊子重新?lián)Q上薄墊子即可。
4、由實(shí)踐得知，環(huán)境溫度升高則抽氣量就會(huì)降低。針對(duì)這種情況，盡量將注入水溫降低。