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日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)
簡要描述：
日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)
同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度！
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm，可進(jìn)行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)
同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度！
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm，可進(jìn)行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
特點
- 平整度測量例
- 邊緣排除區(qū)1mm
- 邊緣排除區(qū)3mm
- 放射狀測量數(shù)據(jù)
- 邊緣滾降分析
- 邊緣鳥瞰圖、截面圖
＜Edge Roll-off分析＞
根據(jù)表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結(jié)果，提供符合客戶需求的分析軟件。
性能、規(guī)格
| 項目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
|---|---|---|
| 量程 | φ300mm | φ200mm |
| 顯示分辨率 | 1nm | |
| 測頭 | 非接觸激光位移計 | |
| 測量方式 | 縱向旋轉(zhuǎn)方式 | |
日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)
產(chǎn)品按照標(biāo)準(zhǔn)和生產(chǎn)，產(chǎn)品可滿足用于石化、電廠等行業(yè)，同時根據(jù)不同的產(chǎn)品也適用于其他行業(yè)，改進(jìn)和擴(kuò)大提高了自己的產(chǎn)品供給，公司生產(chǎn)的測量系統(tǒng)，受到了本國和國內(nèi)外客戶以及市場的青睞，*設(shè)計，壽命超長，性能穩(wěn)定，密封性強(qiáng)，精密鑄造，外觀精美。性質(zhì)穩(wěn)質(zhì)，包裝優(yōu)良。
伊里德代理工KURODA硅片平整度測量系統(tǒng)等產(chǎn)品，價格合理，使用范圍廣，部分常規(guī)型號有現(xiàn)貨。如需采購可咨詢。我將竭誠為您服務(wù)。請您詢問時請備注貴公司營業(yè)執(zhí)照抬頭、連系方式；您需要的品牌型號數(shù)量發(fā)給我們。我們將按順序時間給您回復(fù)報價，歡迎惠顧！
