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高精度微型六維位移臺

昊量光電設備有限公司推出的六足位移平臺是基于線性平臺模組開發(fā)的六維運動控制系統(tǒng)。該平臺可提供六個自由度控制（XYZ和繞三個軸的旋轉(zhuǎn)）。與常規(guī)的六足平臺相比該平臺，該平臺體積更緊湊，擁有較高的剛度和較低的運動質(zhì)量，并且客戶可以自定義虛擬運動軸點。

由于平臺均采用模塊化設計，因此其運動尺寸和作用力可以根據(jù)需求的不同做定制，行程可從幾厘米到一米，分辨率可達到納米量級。

產(chǎn)品擁有以下特點：

1）擁有六個自由度

平臺是一個并聯(lián)運動納米操作系統(tǒng)，不同于常規(guī)的堆疊設計，該平臺由多個線性平臺同時運動驅(qū)動。定位器的平行設置優(yōu)化了整個系統(tǒng)的剛度，并允許控制所有六個自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋轉(zhuǎn)）

2）用戶可自定義軸心點

可自由設置軸心點，可繞空間任意一點旋轉(zhuǎn)

3）多選項

高&超高真空兼容

非磁材料

抗紫外線材料

4）高分辨率和重復精度

無反向空回的機械設計使該系統(tǒng)與線性平臺有相同的量級的性能，分辨率可達到1nm和1μrad，X,Y,Z的雙向可重復性可達到200nm，旋轉(zhuǎn)重復精度可達10μrad，對于小行程重復精度會更高。

上海昊量提供的六維調(diào)節(jié)架主要包含以下幾款產(chǎn)品。

Positioner Series		70.42	115.25	110.45	225.75	P-SLC-17	P-SLC-24	P-SLL	Wafer-2000
Picture
Travel  (mm)	X	10	11	20	41	48	79 to 119	20 to 1200	200
	Y	10	11	20	41	28 to 48	45 to 119	45 to 119	200
	Z	5	5	11	21	≤9	≤12	≤16	10
Rotation(°）	Qx	14	18	21	20	≤28	≤31	≤42	6
	Qy	16	20	24	23	≤26	≤27	≤33	7
	Qz	28	37	38	41	≤20	≤42	≤42	24
repeatability forfull travel range	nm	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200	<±200
	μrad	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10	<±10
max. vertical load [N]		5	5	5	10	5	10	10	20
max. horizontal load [N]		2.5	2.5	2.5	5	2.5	5	5
dimension [mm2]		F70	F115	F110	F225	110´50	110´90	250´80	420´430

高精度微型六維位移臺