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儀景通光學(xué)科技(上海)有...

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高通量計(jì)量和檢測(cè)的污染控制智慧之道

閱讀:342      發(fā)布時(shí)間:2024-4-10
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在半導(dǎo)體、平板顯示器 (FPD) 和有機(jī)發(fā)光二極管 (OLED) 制造業(yè)中,設(shè)計(jì)支持高通量檢測(cè)(即,每次所需時(shí)間可處理的檢測(cè)數(shù)量)的計(jì)量?jī)x器是我們面臨的一項(xiàng)共同挑戰(zhàn)。
作為 OEM 光學(xué)器件和組件的供應(yīng)商,Evident為儀器設(shè)計(jì)師提供高質(zhì)量的顯微鏡裝置,而這些儀器設(shè)計(jì)師會(huì)為檢測(cè)、生產(chǎn)和研究領(lǐng)域開(kāi)發(fā)光學(xué)設(shè)備。對(duì)于制造業(yè)中的質(zhì)量檢測(cè),由于這些裝置設(shè)計(jì)合理周到,還有助于提高產(chǎn)量(即所有產(chǎn)品中無(wú)缺陷產(chǎn)品的百分比)。
例如,集成到高通量檢測(cè)設(shè)備中的顯微鏡裝置通常需要直觀的遠(yuǎn)程控制,以便所有技能水平的用戶都可以輕松準(zhǔn)確地執(zhí)行檢測(cè)。通過(guò)簡(jiǎn)單的控制,您可以調(diào)整焦距、樣品觀察位置、觀察方法和放大倍率,以快速獲得用于檢測(cè)的圖像。我們提供各種能夠?qū)崿F(xiàn)電動(dòng)控制的裝置,如電動(dòng)Z軸驅(qū)動(dòng)顯微鏡裝置、電動(dòng)照明器、電動(dòng)分析儀、控制箱和手動(dòng)開(kāi)關(guān)。
我們還推出了一款帶有真空功能 (U-D5BDREMC-VA) 的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán),其可以改善清潔度,同時(shí)提高速度和耐用性。對(duì)于并不熟悉該裝置的人,物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)(也稱作物鏡轉(zhuǎn)塔)可以容納不同放大率的物鏡。通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán),用戶可以根據(jù)需要在不同的放大倍數(shù)下查看樣品。
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電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)

半導(dǎo)體、FPD 和 OLED 行業(yè)的污染控制

清潔度是半導(dǎo)體、FPD 和 OLED 制造行業(yè)的檢查人員很關(guān)心的問(wèn)題,這一點(diǎn)關(guān)系到是否可以生產(chǎn)出功能正常的產(chǎn)品。因此,應(yīng)將檢測(cè)設(shè)備用于受控環(huán)境,如潔凈室。不允許灰塵從物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)落到樣品上,如半導(dǎo)體晶圓。即使是微小的灰塵也會(huì)污染晶圓,破壞其功能,進(jìn)而影響產(chǎn)品產(chǎn)量。

我們帶真空功能的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán) (U-D5BDREMC-VA) 使用負(fù)壓吸力,可減少物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)時(shí)落下的細(xì)粒數(shù)量,并捕獲潤(rùn)滑系統(tǒng)所用潤(rùn)滑脂產(chǎn)生的任何氣體或灰塵。這種真空功能使我們的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)成為受控潔凈室環(huán)境的理想選擇。物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)可用作半導(dǎo)體和FPD檢測(cè)設(shè)備的內(nèi)置顯微鏡模塊。


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用于污染控制的帶真空功能的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)

用于半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)及其他用途的各種物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)

我們提供各種物鏡轉(zhuǎn)盤(pán),這些物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)可集成到檢測(cè)、生產(chǎn)和研究領(lǐng)域的系統(tǒng)中。我們的選擇包含手動(dòng)和電動(dòng)選項(xiàng)。

  • 手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán):該產(chǎn)品系列可以支持諸如明場(chǎng)、暗場(chǎng)和微分干涉對(duì)比 (DIC) 等觀測(cè)方法,可以容納四至七個(gè)物鏡,滿足 ESD 規(guī)范等。

  • 帶編碼功能的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán):這種類型的手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)可以檢測(cè)轉(zhuǎn)盤(pán)的物鏡安裝孔位置。您可以使用軟件將物鏡的放大倍率信息與其在轉(zhuǎn)盤(pán)上的位置相匹配,使您能夠更快地將放大倍率信息添加到捕獲的圖像中,同時(shí)降低手動(dòng)數(shù)據(jù)輸入錯(cuò)誤的風(fēng)險(xiǎn)。

  • 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán):這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)可以通過(guò)電動(dòng)方式移動(dòng)五個(gè)或六個(gè)物鏡。帶有真空功能的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)同樣已經(jīng)推出。

  • 帶對(duì)中功能的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán):這種類型的物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)可讓您通過(guò)手動(dòng)或電動(dòng)方式將物鏡的光軸對(duì)中。這樣可以改變物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)的孔位置,以便針對(duì)每個(gè)物鏡的細(xì)微移動(dòng)進(jìn)行調(diào)整。最終將所有安裝的物鏡對(duì)準(zhǔn)。經(jīng)過(guò)調(diào)整,您會(huì)發(fā)現(xiàn)更換物鏡前后,中心位置是相同的。

  • 物鏡支架轉(zhuǎn)接器:這款轉(zhuǎn)接器 (STM7-MMOBAD) 可讓您只使用一個(gè)物鏡。如果您的應(yīng)用不需要多個(gè)物鏡,那這是一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的選擇。請(qǐng)注意,這款轉(zhuǎn)接器(適配器)僅配備 RMS 螺絲 W26,并且沒(méi)有用于暗場(chǎng)照明的光路。

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您只需將一個(gè)物鏡連接到支持多個(gè)物鏡的系統(tǒng),物鏡適配器 (STM7-MMOBAD) 實(shí)現(xiàn)了靈活性。左側(cè):使用物鏡適配器連接了一個(gè)物鏡。中間:連接轉(zhuǎn)盤(pán)前。右側(cè):使用物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)連接了多個(gè)物鏡。


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