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光學(xué)隔振平臺常見參數(shù)圖簡介
光學(xué)平臺隔振系統(tǒng)的主要功能是減弱因振動導(dǎo)致的光學(xué)元件相對位置改變。隔振桌腿用于將地面振動在到達桌面前過濾掉，而桌面蜂窩結(jié)構(gòu)可以有效降低來自桌面的振動以及桌腿未能過濾的振動。
順應(yīng)性曲線
順應(yīng)性曲線（Compliance Curve）描述了平臺表面在響應(yīng)振動時產(chǎn)生的形變。作為傳遞函數(shù)曲線，它表征桌面上一點在特定頻率下對動態(tài)作用力的位置響應(yīng)。實測中該力由校準錘產(chǎn)生，當其擊打桌面時，輸出與力成正比的信號。蜂窩結(jié)構(gòu)桌面的順應(yīng)性曲線如下圖所示。
從0Hz開始直到數(shù)百赫茲，順應(yīng)性向下直線遞減。這一斜率一致的區(qū)間亦稱為剛體線（Rigid Body Line），在該區(qū)間內(nèi)桌面是剛性的，表面無相對運動。曲線的位置會因系統(tǒng)重量改變，但斜率始終取決于物理性質(zhì)。圖中每十倍頻率衰減40dB這一斜率由受力加速度和位置改變的關(guān)系給出。
當頻率較高時，曲線會表現(xiàn)出不連續(xù)性。這些不連續(xù)的峰對應(yīng)著平臺的固有共振（Natural Frequencies）：*個顯著的共振可能由扭轉(zhuǎn)或撓曲形變產(chǎn)生，而之后是其他模式和諧振。蜂窩結(jié)構(gòu)相比花崗巖結(jié)構(gòu)適合更多應(yīng)用，正是因為較高的剛度——自重比（Stiffness-to-Weight Ratio）使其共振模式的頻率更高，從而在高頻下產(chǎn)生以下三項優(yōu)勢：
更少的來自環(huán)境的振動
來自給定加速度（受激力）的更小的位移（形變）
更有效的隔振系統(tǒng)
另外，順應(yīng)性曲線還表征桌面阻尼的信息。阻尼可以降低平臺表面的相對運動，越尖銳的峰對應(yīng)的阻尼越小。蜂窩結(jié)構(gòu)通常比花崗巖結(jié)構(gòu)包含更多固有阻尼，因此盡管花崗巖結(jié)構(gòu)的順應(yīng)度值可能更小，但阻尼蜂窩結(jié)構(gòu)的表面各點會有更少的相對運動。蜂窩結(jié)構(gòu)平臺提供多種阻尼方式，其中寬帶阻尼技術(shù)在減低寬頻區(qū)間相對運動時更有效，而窄帶阻尼技術(shù)可以*消除某一類（或多類）特定模式的共振。阻尼平臺的順應(yīng)性曲線更平滑。
振動傳遞率曲線
振動傳遞率曲線（Transmissibility Curve）表達的是隔振桌腿的過濾功能。換言之，它表征有多少地面振動經(jīng)由桌腿傳遞到桌面。該曲線由桌腿頂部和地面兩處的振動比測得。氣浮桌腿的振動傳遞率曲線如下圖所示。
曲線從（0Hz，0dB）原點開始。當頻率很低時，桌腿本質(zhì)上是剛體，任何振動都會被傳遞到桌面。之后曲線上升，在1-2Hz時達到峰值。此即桌腿的固有共振（Natural Frequency）和zui大放大倍數(shù)。圖中任何一處曲線高于1（Unity Transmission）時，桌腿都將放大振動。輕阻尼（Lightly Damped）隔振腿對應(yīng)高而尖的峰，而重阻尼（Heavily Damped）隔振腿對應(yīng)低而平滑的峰。大多數(shù)桌腿在固有共振頻率處都放大3到4倍振動。當頻率增大并超過桌腿共振頻率后，曲線迅速下降，振動傳遞率降到1以下后桌腿開始“隔振”。開始隔振時的頻率（Crossover Frequency）約為固有共振頻率的1.4倍。隨著曲線下降，機械高通濾波愈加有效。大部分桌腿在10Hz時可過濾超過90%的地面振動，100Hz時可過濾99%的振動。
光學(xué)隔振平臺的設(shè)計應(yīng)遵循：
盡量高的桌面共振頻率，以將地面振動的影響zui小化
盡量低的桌腿共振頻率，以zui大化地過濾高頻振動