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東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司
主營產(chǎn)品： HYDAC壓力開關(guān),BURKERT電磁閥,WAUKEE流量計(jì),ATOS油泵,德國REXROTH電磁換向閥，BERNSTEIN傳感器 |
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2025-4-10 閱讀(117)
選擇適合半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的力士樂比例閥，需要考慮以下多個(gè)方面：
流量需求：根據(jù)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中流體的實(shí)際流量要求來選擇比例閥的通徑。例如，在光刻膠供應(yīng)系統(tǒng)中，要依據(jù)光刻工藝所需的光刻膠流量，計(jì)算出在一定時(shí)間內(nèi)需要輸送的液體體積，從而確定比例閥能夠滿足的流量范圍。通常，通徑越大，流量越大，但也要避免通徑選得過大導(dǎo)致系統(tǒng)分辨率降低。
力士樂比例閥壓力要求：明確設(shè)備工作過程中的壓力范圍，包括系統(tǒng)的供油壓力、負(fù)載壓力等。比例閥的額定壓力應(yīng)大于系統(tǒng)的最高工作壓力，以確保其能夠穩(wěn)定工作。例如，在半導(dǎo)體封裝設(shè)備中，若封裝腔室的工作壓力為 5 - 10MPa，那么選擇的比例閥額定壓力應(yīng)在 10MPa 以上，以保證在不同工作階段都能準(zhǔn)確控制壓力。
控制精度：半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝通常對(duì)精度要求，需根據(jù)具體工藝要求選擇具有相應(yīng)精度的比例閥。例如，在芯片制造的離子注入環(huán)節(jié)，需要精確控制氣體流量以保證注入劑量的準(zhǔn)確性，這就要求比例閥具有高精度的流量控制能力，如滯環(huán)小、線性度好等特性。對(duì)于精度要求特別高的場合，可選擇帶有反饋閉環(huán)的比例閥，通過實(shí)時(shí)監(jiān)測和調(diào)整閥芯位置來提高控制精度。
力士樂比例閥流體特性：
流體種類：如果是腐蝕性流體，如半導(dǎo)體清洗過程中使用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液，應(yīng)選用耐腐蝕的不銹鋼或特殊材料制成的比例閥；對(duì)于食用超凈流體，如用于芯片冷卻的去離子水，宜選用食品級(jí)不銹鋼材質(zhì)的比例閥。
流體狀態(tài)：要區(qū)分流體是氣態(tài)、液態(tài)還是混合狀態(tài)。特別是大口徑的比例閥，對(duì)于不同狀態(tài)的流體，其選擇要點(diǎn)有所不同。例如，在半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備中，若使用的是氣態(tài)的鍍膜材料，需要選擇適合氣體介質(zhì)的比例閥，并考慮氣體的壓縮性等特性。
流體粘度：一般情況下，流體粘度在 50cSt 以下時(shí)，大多數(shù)比例閥都可適用；若粘度超過此值，如某些高粘度的光刻膠，就需要選用高粘度電磁閥，以確保閥芯能夠正常動(dòng)作，準(zhǔn)確控制流量。
電氣特性：
電源類型：根據(jù)設(shè)備的電氣系統(tǒng)配置，選擇合適的電源類型，如 AC220V、DC24V 等。一般來說，優(yōu)先選用常用的電源規(guī)格，以便于設(shè)備的電氣連接和維護(hù)。
控制信號(hào)：確定比例閥所需的控制信號(hào)類型，如電流信號(hào)、電壓信號(hào)等。同時(shí)，要考慮信號(hào)的傳輸距離和抗干擾能力，對(duì)于長距離傳輸或在電磁干擾較強(qiáng)的環(huán)境中，應(yīng)選擇具有良好抗干擾性能的比例閥，并采用屏蔽電纜等措施來保證信號(hào)的穩(wěn)定傳輸。
閥門類型：
直動(dòng)式閥：適用于小流量開環(huán)控制系統(tǒng)，響應(yīng)速度較快，但流量和壓力控制范圍相對(duì)較小。例如，在一些小型的半導(dǎo)體測試設(shè)備中，對(duì)流量要求不大且控制精度要求不是特別高的情況下，可以選擇直動(dòng)式比例閥。
先導(dǎo)式閥：用于大流量開環(huán)控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)較大流量和壓力的控制，但響應(yīng)速度可能稍慢于直動(dòng)式閥。在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的大型鍍膜設(shè)備、刻蝕設(shè)備等需要較大流量的場合，先導(dǎo)式比例閥更為適用。
pQ 閥：專門為閉環(huán)壓力與流量控制的場合設(shè)計(jì)，能夠同時(shí)精確控制壓力和流量兩個(gè)參數(shù)。在對(duì)壓力和流量控制精度要求都很高的半導(dǎo)體工藝中，如芯片封裝過程中的充膠環(huán)節(jié)，pQ 閥是一個(gè)較好的選擇。
力士樂比例閥安裝條件：
接口方式：根據(jù)設(shè)備的管道連接要求，選擇合適的接口方式。一般 DN≥50 的情況，建議選擇法蘭接口，連接牢固且密封性好；DN<50 時(shí)，可以根據(jù)具體需求選擇螺紋接口或其他接口類型，如卡套式接口等，便于安裝和拆卸。
安裝空間：考慮比例閥的安裝位置和空間大小，確保閥門安裝后便于維護(hù)和檢修。有些半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部空間緊湊，需要選擇結(jié)構(gòu)緊湊、尺寸較小的比例閥，以適應(yīng)有限的安裝空間。
REXROTH比例閥可靠性和安全性：
可靠性：半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備通常需要長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，因此要選擇具有高可靠性的比例閥，如經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測和認(rèn)證、具有良好的市場口碑和使用壽命的產(chǎn)品。可以參考其他用戶的使用經(jīng)驗(yàn)和廠家的產(chǎn)品性能指標(biāo)來評(píng)估可靠性。
安全性：對(duì)于有特殊安全要求的場合，如在有易燃易爆氣體的環(huán)境中，應(yīng)選用相應(yīng)的防爆型比例閥；同時(shí)，要確保比例閥在斷電等異常情況下能夠處于安全位置，避免對(duì)設(shè)備和生產(chǎn)過程造成危害。
在選擇適合半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的力士樂比例閥時(shí)，需要綜合考慮以上多個(gè)因素，并與專業(yè)的銷售和技術(shù)人員進(jìn)行充分溝通和咨詢，以確保所選的比例閥能夠滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的高精度、高可靠性要求。
