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一、電器故障

（一）溫度異常，包括溫度過(guò)高報(bào)警、或顯示溫度達(dá)不到設(shè)定值。

（1）溫度過(guò)高報(bào)警故障解除方法：

1．首先檢查所在工作區(qū)溫控器參數(shù)是否正常，參考其他正常使用中的溫控器校對(duì)所有參數(shù)。

2．根據(jù)電路圖檢查相應(yīng)工作區(qū)的固態(tài)繼電器輸出端是否被擊穿，

具本方法：停電后，用萬(wàn)用表電阻檔測(cè)量固態(tài)繼電器輸出端兩點(diǎn)之間的電阻，正常時(shí)，電阻會(huì)有幾兆歐以上，如果被擊穿，則幾乎沒(méi)有電阻，必須按同型號(hào)換上新的。

3．在通電開(kāi)機(jī)的情況下，用手輕搖相應(yīng)工作區(qū)內(nèi)的熱電偶探頭，看看所對(duì)應(yīng)的溫控器顯示是否跳動(dòng)幅度很大，如果有此現(xiàn)象，則說(shuō)明熱電偶探頭接觸不良，需更換新的。

（2）顯示溫度偏低達(dá)不到設(shè)定值：

1．同樣，首先檢查所在工作區(qū)溫控器的參數(shù)是否正常，是否有輸出信號(hào)。

2．檢查所對(duì)應(yīng)工作區(qū)的熱電偶是否受損，為了驗(yàn)正這些熱電偶是否良好，可將它們跟正常溫控器上的熱電偶互換接到溫控器上，觀(guān)察溫度顯示情況。如果確實(shí)是熱電偶損壞，必須更換。（注意：如果更換的熱電偶是內(nèi)腔里的，還會(huì)涉及到真空密封性能，另外詳解）

3．如果溫控器、熱電偶都沒(méi)問(wèn)題，則需要測(cè)驗(yàn)發(fā)熱管是否正常通電工作。方法：通電開(kāi)機(jī)后，啟動(dòng)加熱，根據(jù)電路圖，直接用試電筆測(cè)試對(duì)應(yīng)工作區(qū)的發(fā)熱管連接的導(dǎo)線(xiàn)（在固態(tài)的輸出端上白色高溫線(xiàn)即是），看是否有電到。如果有電到達(dá)，還需要用鉗表測(cè)量一下電流是否與其他工作區(qū)的差別，正常情況下，差異不大。

4．如果沒(méi)有電到達(dá)，則必須按電路圖對(duì)電路逐一檢查，看看在哪個(gè)環(huán)節(jié)電截止了，是否有元件燒壞？

（二）真空異?，F(xiàn)象

真空抽不上或偏低：

1．首先確認(rèn)真空氣源是否正常（-95KPa以上），壓縮氣壓是否正常，（正常使用范圍是0.4— 0.6 MPa）。

2．檢查真空表是否良好，對(duì)照正常使用中的真空表，看看參數(shù)是否正常？

3．檢查門(mén)是否關(guān)緊，門(mén)口的密封膠卷是否有破損，有變形，門(mén)板上是否沾有異物？請(qǐng)仔細(xì)檢查！

4．如果門(mén)沒(méi)有問(wèn)題，則需檢查對(duì)應(yīng)工作區(qū)的管道，氣動(dòng)閥，熱電偶穿入口等位置。通常在熱電偶入口處出現(xiàn)情況較多，因?yàn)槿绻懈鼡Q熱電偶的，常常會(huì)破壞了真空的密封性能，必須重新打AB膠進(jìn)行密封。

二、機(jī)械結(jié)構(gòu)故障

1．門(mén)關(guān)不緊，檢查門(mén)的合葉是否松動(dòng)，拉扣是否變形，門(mén)口密封膠條是否破損，門(mén)板是否變形？

2．風(fēng)機(jī)有異響，請(qǐng)仔細(xì)檢查是否有異物進(jìn)入風(fēng)機(jī)的風(fēng)輪里面，或固定電機(jī)馬達(dá)的螺絲是否松動(dòng)。

3．氣動(dòng)閥無(wú)法動(dòng)作，首先檢查對(duì)應(yīng)的電磁閥是否能正常工作，壓縮空氣壓力是否達(dá)到工作要求？如果氣壓正常，且電磁閥也良好，則肯定是氣動(dòng)閥本身壞了，必須更換新的。

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