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它具有以下特點(diǎn)：
● 采用雙重閉環(huán)運(yùn)動控制，電機(jī)在高速運(yùn)動時(shí)具有精確的定位以及運(yùn)動時(shí)的穩(wěn)定性；
● 采用本公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機(jī)，提高了電機(jī)響應(yīng)速度，還簡化了儀器與PC機(jī)的 接口，PC機(jī)與儀器通過USB線和S端子線連接；
● 采用花崗石平臺，外觀簡潔大方；
● 表面光由獨(dú)立四十八組光源組成，每一組均 為恒 流源驅(qū)動，連續(xù)可調(diào)； 
● 配有我公司的全自動測量軟件Mclns，大大提高測量效率
儀器型號VMS-3020CNCVMS-4030CNCVMS-5030CNC
工
作
臺金屬臺面尺寸（mm）506×356606×466700×450
玻璃臺面尺寸（mm）350×280450×350550×350
運(yùn)動行程（mm）300×200400×300500×300
儀器重量（kg）140240290
外形尺寸（長X寬X高） （mm）770×590×1100950×700×1100970×670×940
鏡頭日本SONY CCD
X、Y、Z數(shù)顯解析度1μm
X、Y坐標(biāo)示值誤差≤（3+L/200）μm
電機(jī)伺服電機(jī)：日本
三軸運(yùn)動速度：100mm/s
三軸定位精度：0.001mm

電源AC110V/220V
消耗功率<100W（不包括電腦）