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陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司
中級會(huì)員 | 第17年

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顆粒計(jì)數(shù)器
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液體顆粒計(jì)數(shù)器在濕電子化學(xué)品等級判定中的應(yīng)用

時(shí)間:2024/3/13閱讀:1303
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1、概念:濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺灣地區(qū)的稱呼(更為普遍),國際上又稱工藝化學(xué)品,我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑。

2、應(yīng)用:濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路、平板顯示、太陽能電池、晶圓等制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純,對生產(chǎn)、包裝、運(yùn)輸及使用環(huán)境的潔凈度都有很高要求。

3、目的:濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小,越是可以應(yīng)用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度"。液體顆粒計(jì)數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等級,以便對應(yīng)的企業(yè)采購對應(yīng)級別的產(chǎn)品。

4、檢測儀器:PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器,防腐型。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可

對鹽酸、硫酸、硝酸、氨水、雙氧水、氫氧化鉀、氫氧化鈉、刻蝕液等化學(xué)品進(jìn)行顆粒檢測。0.1、0.2、0.5三個(gè)檢測段的傳感器供選擇。

5、試劑:單酸堿、混合液、溶劑類。

6、檢測過程:取一定量溶液;用PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器對液樣進(jìn)行檢測,將檢測結(jié)果對照電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表,來判定溶液的級別。見下表:

 

1.jpg


  

 

7、結(jié)論:目前太陽能電池領(lǐng)域僅需要達(dá)到G1等級;顯示面板領(lǐng)域一般要求達(dá)到G2、G3等級;集成電路領(lǐng)域,8英寸及以下晶圓要求達(dá)到G3、G4水平,12英寸晶圓需要達(dá)到G5等級。國際上制備G1到G5級濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟,國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到國際G3標(biāo)準(zhǔn),并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。


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