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NST-瑞士CSM納米劃痕儀
  • NST-瑞士CSM納米劃痕儀

貨物所在地:上海上海

更新時間:2024-08-03 21:00:06

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瑞士CSM的納米劃痕儀主要用于界定膜基結合強度與薄膜抗劃痕強度,適用的薄膜厚度一般低于800納米。

納米劃痕測試儀(10uN - 1N) 

可以測試薄膜和基底的臨界附著力,劃痕深度、劃痕寬度、凸起高度以及材料的粘彈性恢復等力學性能。可以進行微拉伸實驗??蓪崟r記錄摩擦力及摩擦系數(shù)的變化,以及用于納米磨損測試。
瑞士CSM的納米劃痕儀主要用于界定膜基結合強度與薄膜抗劃痕強度,適用的薄膜厚度一般低于800納米。納米劃痕儀可以用于多種薄膜材料的檢測分析,例如單層或多層PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學薄膜,微電子鍍膜,保護性薄膜,裝飾性涂層等等?;w可以為軟質或硬質材料,包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物、以及有機材料等。

技術參數(shù):

劃痕測試單元:

劃痕正向力載荷 ?10uN-1N
zui大摩擦力 1N(或200mN)
摩擦力分辨率 6uN(或300nN)
zui大劃痕深度 ?200 um
zui大劃痕長度 ?120mm
劃痕速度 0.4-600mm/min,連續(xù)可調

高質量金相顯微鏡系統(tǒng) :
配有高分辨率的彩色CCD和與之匹配的圖形采集系統(tǒng)
配有5X,20X、和100倍的物鏡鏡頭,zui大屏幕上放大倍率4000倍
在不拆卸、更換鏡頭的情況下,通過轉塔可以在不同倍率鏡頭間切換使用
采用LED光源系統(tǒng)
軟件控制光源系統(tǒng)的亮度和聚焦
點擊鼠標即可實時存取試樣表面的光學圖像
全自動連續(xù)景深成像(Multifocus)
全景成像模式(Panorama模式,對劃痕)
雙顯示器,一個用于測試模塊的軟件控制,一個用于光學圖像采集、觀察
配有成像分析軟件:具有長度標尺,可以測試或顯示光學圖像中任意兩點坐標,水平距離、垂直距離、直線距離

XYZ三方向全自動試樣臺(以CPX納米力學平臺為例):

X方向移動范圍: ?120mm
Y方向移動范圍: ?70mm
有效工作面積: ?70mmX20mm
定位分辨率: ? 0.1um
定位精度: ? 1um
Z方向自動移動范圍: 30mm
分辨率:10nm
XYZ三方向移動控制:鼠標控制、鍵盤控制及操縱桿控制

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