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ICP-AES分析方法的特點(diǎn)：
檢出限低：亞PPT級(jí)
精密度好：RSD<2%
基體效應(yīng)低
動(dòng)態(tài)線性范圍寬，自吸收效應(yīng)低：(工作曲線線性范圍5－6個(gè)數(shù)量級(jí))
多元素同時(shí)測(cè)定
技術(shù)指標(biāo)
射頻發(fā)生器（RF）
(1) 電路類型：電感反饋式自激振蕩電路，同軸電纜輸出，匹配調(diào)諧，取功率反饋，進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)控制。
(2) 工作頻率：40MHZ±0.05%
(3) 頻率穩(wěn)定性：<0.1%
(4) 輸出功率：800－1200w
(5) 輸出功率穩(wěn)定性：≤0.3%
(6) 電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度：距機(jī)身30cm
電場(chǎng)強(qiáng)度E：<2V/m
進(jìn)樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm，3匝
(2) 炬管：三同心Fassel型，外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑34mm
(5) 氬氣流計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格：
①、等離子體流量計(jì)（100-1000）L/h
(1.6-16L/min)
②、輔助氣流量計(jì)（10-100）L/h
Auxiliary gas flow meter（10-100）L/h
(0.16-1.66L/min)
③、載氣流量計(jì)（10-100）L/h
(0.16-1.66L/min)
④、載氣穩(wěn)壓閥（0-0.4MPa）
測(cè)光裝置:
(1) 光電倍增管規(guī)格： R212UH或R928
(2) 光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V
穩(wěn)定性<0.05%
(3) 光電倍增管電流測(cè)量范圍：10-12 -10-4A
(4) 信號(hào)采集為V/F交換：1mV對(duì)應(yīng)100Hz
分光器:
(1) 光路: Czerny- Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規(guī)格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，
(4) 波長(zhǎng)范圍：195-500nm
（可選用2400線/mm，波長(zhǎng)范圍：195－800nm）
（刻線面積: 80X110mm）
線色散率倒數(shù)：0.26nm
(5) 分辨率: ≤1.008nm
(6) 掃描波長(zhǎng)范圍3600線/mm 掃描波長(zhǎng)范圍：195-500nm2400線/mm掃描波長(zhǎng)范圍：195-800nm
(7) 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)zui小步距：0.0006nm
(8) 出射、入射狹縫：20µm
(9) 發(fā)射鏡規(guī)格：（78 X 105 X 16）mm
(10) 透鏡ф30，1：1成像
(11) 分光器恒溫裝置：32℃±1℃

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